1、坐标式影像测量仪的导轨加工精度很高，与空气轴承的间隙很小，如果导轨上面有灰尘或其它杂质，就容易造成气浮轴承和导轨划伤。所以每次开机前应清洁机器的导轨，金属导轨用航空汽油擦拭(120#汽油)，花岗岩导轨用无水乙醇擦拭。

2、切记在保养过程中不能给任何导轨上任何性质的油脂;

3、定期给光杆、丝杆、齿条上少量防锈油;

4、在长时间没有使用坐标式影像测量仪时，在开机前应做好准备工作：控制室内的温度和湿度(24小时以上)，在南方湿润的环境中还应该定期把电控柜打开，使电路板也得到充分的干燥，避免电控系统由于受潮后突然加电后损坏。然后检查气源、电源是否正常;

5、开机前检查电源，如有条件应配置稳压电源，定期检查接地，接地电阻小于4欧姆。